1. Saflık
Titanyum hedefinin saflığı, püskürtme filmlerin özellikleri üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Hedefin saflığı ne kadar yüksek olursa, püskürtmeli filmde yabancı madde parçacıkları o kadar az olur ve film performansı (korozyon direnci, optik ve elektriksel özellikler gibi) o kadar iyi olur. Pratik uygulamalarda, titanyum hedeflerinin farklı amaçlara yönelik saflık gereksinimleri farklıdır. . Örneğin, genel dekoratif kaplamalara yönelik hedeflerin saflık gereklilikleri çok fazla zorlayıcı değildir; entegre devreler, ekran gövdeleri ve diğer alanlara yönelik hedeflerin ise genellikle yüzde 99,999 civarında veya daha yüksek olmak üzere çok daha yüksek saflık gereksinimleri vardır.
2. Ortalama tane büyüklüğü
Genellikle titanyum hedefi çok kristalli bir yapıya sahiptir ve tane boyutu mikrondan milimetreye kadar değişebilir. İnce taneli hedefin püskürtme hızı, iri taneli hedefin püskürtme hızından daha hızlıdır. Püskürterek biriktirilen filmin kalınlık dağılımı da nispeten tekdüzedir. Entegre devreler için titanyum hedeflerin ortalama tane boyutunun genellikle 30 μm dahilinde olması gerekir ve ultra ince taneli titanyum hedeflerin ortalama tane boyutu 10 μm'nin altındadır.
3. Kristal yönelimi
Titanyum sıkı paketlenmiş altıgen bir yapıya sahiptir. Püskürtme sırasında titanyum hedef atomları, atomların altıgen düzeni doğrultusunda kolayca püskürtülür. Bu nedenle en yüksek püskürtme hızına ulaşmak için hedefin kristal yapısını değiştirerek püskürtme hızını artırmak mümkündür. püskürtme oranı. Titanyum hedefin kristalleşme yönü, püskürtmeli film tabakasının kalınlık tekdüzeliği üzerinde de büyük etkiye sahiptir ve düz ekranın ve dekoratif kaplamanın film boyutu nispeten kalındır, dolayısıyla karşılık gelen titanyum hedefin tane yönelimi için gereksinimler nispeten düşük.
4. Geometri ve boyut
Bu esas olarak işleme boyutu, yüzey düzlüğü, pürüzlülük vb. gibi işleme doğruluğu ve işleme kalitesine yansır. Küçük kalınlık, hedefin hizmet ömrünü etkileyecektir; çok pürüzlü sızdırmazlık yüzeyi ve sızdırmazlık oluğu, hedef yerleştirildikten sonra vakum sorunlarına neden olacaktır; Hedefin püskürtme yüzeyinin pürüzlendirilmesi, hedefin yüzeyini çıkıntılı uçlarla dolu hale getirebilir, uç etkisinin etkisi altında, bu yükseltilmiş uçların potansiyeli büyük ölçüde artacak ve böylece dielektrik deşarjı kırılacaktır. Ancak aşırı derecede büyük bir çıkıntı, püskürtmenin kalitesi ve stabilitesi açısından zararlıdır.
Şirketimiz aşağıdaki gibi titanyum alaşımları sağlayabilir:Titanyum Alüminyum Püskürtme HedefleriVeTitanyum Ti Püskürtme Hedefifarklı saflık ve şekle sahip titanyum hedeflerin yanı sıra özelleştirilmiş hizmetleri de kabul ediyoruz. Gerekirse lütfen e-posta yoluyla bizimle iletişime geçin.
